株式会社 ＭＭＴ．
〒170-0005 東京都豊島区南大塚３-11-１ サンテ水野303号
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AMMT社代理店
MEMS用Wetエッチング冶具（AMMT社製）
MEMS用Wetエッチング冶具
裏面へのエッチング液の回り込み防止
３〜８インチ対応にて作成
素材；Peek材を使用
使用基板厚み（130μm〜任意）
電極タイプによるメッキも可能
HF Vaporエッチング装置
4ｲﾝﾁ対応、5ｲﾝﾁプロトタイプにて対応
Wetエッチング槽
実験用石英槽
石英加工品、形状は任意にて設計可能
量産用ドラフト
MEMS用レジスト
MEMS用基板材料
ガラス基板、パイレックス、石英基板
メタル基板、（Cu、W、Mo、Ti、etc.）ミラー仕上げ
セラミックス基板（Al2O3、AlN、BN、etc.）
シリコン基板（極薄、特殊形状、高抵抗FZシリコン．etc）
SOI基板（貼り合せ加工）
MEMSデバイス薄膜加工
酸化膜、チッカ膜（SiO2、SiN、TEOS）
メタル系（Al、Al-Si、Cu、etc.）
その他（Hi−K、Low-K）
受託サービス
フォトリソ加工
エッチング加工
埋め込みメッキ
デバイス開発受託
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