AMMT社代理店

裏面へのエッチング液の回り込み防止

３〜８インチ対応にて作成

素材；Peek材を使用

使用基板厚み（130μm〜任意）

電極タイプによるメッキも可能

HF　Vaporエッチング装置

4ｲﾝﾁ対応、5ｲﾝﾁプロトタイプにて対応

実験用石英槽

石英加工品、形状は任意にて設計可能

量産用ドラフト

ガラス基板、パイレックス、石英基板

メタル基板、（Cu、W、Mo、Ti、etc.）ミラー仕上げ

セラミックス基板（Al2O3、AlN、BN、etc.）

シリコン基板（極薄、特殊形状、高抵抗FZシリコン．etc）

SOI基板（貼り合せ加工）

酸化膜、チッカ膜（SiO2、SiN、TEOS）

メタル系（Al、Al-Si、Cu、etc.）

その他（Hi−K、Low-K）

フォトリソ加工

エッチング加工

埋め込みメッキ

デバイス開発受託