HF Vaporエッチング装置

対応サイズ;4インチ及び矩形サイズ(チップ)に対応

5インチについては、プロトタイプにて対応させて頂きます。

尚、5インチ以上の口径に関しては、現在開発中ですので、リリース次第順次公表致します。

詳細に関しては、お気軽にお問合せ下さい。

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