株式会社 MMT.
〒170-0005 東京都豊島区南大塚3-11-1 サンテ水野303号
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(例:株式会社 MMT)
(例:大植 淳一)
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(例:東京都豊島区南大塚3-11-1 サンテ水野303号)
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内容ご確認の上、よろしければ下記の「資料を請求する」をクリックして下さい。(上記ボタンを押した後、次の画面がでるまで、4〜5秒かかりますので、続けて2回押さないようにお願いいたします。)入力がうまく行かない場合は、上記内容をご記入の上、メールにてお申し込み下さい。送信先アドレス : mmt@rose.plala.or.jp
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AMMT社代理店
MEMS用Wetエッチング冶具(AMMT社製)
MEMS用Wetエッチング冶具
裏面へのエッチング液の回り込み防止
3〜8インチ対応にて作成
素材;Peek材を使用
使用基板厚み(130μm〜任意)
電極タイプによるメッキも可能
HF Vaporエッチング装置
4インチ対応、5インチプロトタイプにて対応
Wetエッチング槽
実験用石英槽
石英加工品、形状は任意にて設計可能
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MEMS用レジスト
MEMS用基板材料
ガラス基板、パイレックス、石英基板
メタル基板、(Cu、W、Mo、Ti、etc.)ミラー仕上げ
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シリコン基板(極薄、特殊形状、高抵抗FZシリコン.etc)
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