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シリコン基板

特殊形状；貴社要望の矩形サイズ（チップ）


基板厚み；50μm〜（貴社要望の厚みに対応）

高抵抗FZ基板

3インチ〜6インチ径まで対応

面方位：（１００）、（１１１）、他OFFにも対応致します。

抵抗値：300Ω-cm〜30,000Ω-cm

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    • MEMS用Wetエッチング冶具（AMMT社製）

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