〒170-0005 東京都豊島区南大塚３-11-１ サンテ水野303号　

03-5952-0502

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MEMSデバイスのスティキング問題を解決したHF　Vapor　エッチング装置

気密性の高い容器（PeeK材）と温度コントローラより構成。

基板ヒータ−で基板温度をコントロールしながらエッチング。

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    • MEMS用Wetエッチング冶具（AMMT社製）

株式会社　ＭＭＴ．

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