〒170-0005 東京都豊島区南大塚３-11-１ サンテ水野303号
MEMS半導体に関する材料・装置なら 株式会社 ＭＭＴ．
更新情報
弊社は、MEMS半導体の開発・研究のニーズに合せたエッチング開発用の装置・材料を提供しております。 開発・研究に求められる品質サービス、スピードをモット−に貴社のお役に立てる情報を提供して参ります。 新しくシリコン基板（FZ）の高抵抗品を作成開始致しました。 MEMS用の他、酸素濃度の少ない高抵抗基板に関して、面方位等ユーザー様のニーズに合わせて作成致します。
HF Vaporエッチング装置の小型版を国産にて開発 研究・開発用チップサイズから2インチ径までの対応可能としました。
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MEMS用Wetエッチング冶具（AMMT社製）
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